CaliBall Interferometer Calibration Device

제품군의 상세 설명

• Transmission Sphere 교정 용도
• 1.3nm RMS 마감 처리
• Kinematic Mount와 적합인증서(CoC) 포함

CaliBall™은 RBT(Random Ball Test)를 이용해 interferometer transmission sphere를 교정하는 데 사용됩니다. RBT는 상당히 긍정적인 성능과 함께 이전부터 사용돼 온 방법이지만 볼의 제조 소재로 인해 측정 정확도에 한계가 있었습니다. 하지만 현재 이 CaliBall™은 질화규소(silicon nitride)로 제조됨에 따라 정밀도에 대한 한계점을 극복할 수 있게 되었습니다. 25mm 볼은 5등급(125nm보다 향상된 구형)으로서 최대 1.3nm rms로 표면 마감 처리가 되며 불투명한 색에 11%의 반사율을 가지고 있습니다. 실제로 손상이 거의 불가능한 CaliBall™은 수 년간 성능 저하 없이 교정 용도로 반복 사용이 가능한 실용적인 제품입니다.

CaliBall™은 f/0.7 transmission sphere를 교정할 수 있도록 한쪽이 커팅되어 있는 견고한 강철 베이스에 3개의 ball kinematic mount가 장착되어 공급됩니다. CaliBall™ with 4” Bayonet Mount는 수평 간섭계 셋업에 안성맞춤으로서 x-y-z 마운팅 구성을 추가할 필요가 없습니다. 이외에도 각 제품마다 구형도(roundness)와 마감 처리 정보가 담긴 인증서 및 전체 사용 지침서, 클린룸 호환 저장 케이스가 함께 배송됩니다.