CaliBall Interferometer Calibration Device

가격(부가세 별도/Tax excluded)
수량 1+	KRW 1,435,500 개당
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제품사양

General

Note:

Surface Finish: 13nm RMS
The part is measured for RMS, which negates the defects or blemishes of the parts based on the average of the surface and the removal of outliers. Ball quality does not affect its ability to perform calibrations.

Physical & Mechanical Properties

Diameter (mm):

25.40

Optical Properties

Reflection (%):

11.00

Silicone Nitride

Surface Accuracy, P-V (μm):

≤0.125

Regulatory Compliance

Certificate of Conformance:

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제품설명

Transmission Sphere 교정 용도
1.3nm RMS 마감 처리
Kinematic Mount와 적합인증서(CoC) 포함

CaliBall™은 RBT(Random Ball Test)를 이용해 interferometer transmission sphere를 교정하는 데 사용됩니다. RBT는 상당히 긍정적인 성능과 함께 이전부터 사용돼 온 방법이지만 볼의 제조 소재로 인해 측정 정확도에 한계가 있었습니다. 하지만 현재 이 CaliBall™은 질화규소(silicon nitride)로 제조됨에 따라 정밀도에 대한 한계점을 극복할 수 있게 되었습니다. 25mm 볼은 5등급(125nm보다 향상된 구형)으로서 최대 1.3nm rms로 표면 마감 처리가 되며 불투명한 색에 11%의 반사율을 가지고 있습니다. 실제로 손상이 거의 불가능한 CaliBall™은 수 년간 성능 저하 없이 교정 용도로 반복 사용이 가능한 실용적인 제품입니다.

CaliBall™은 f/0.7 transmission sphere를 교정할 수 있도록 한쪽이 커팅되어 있는 견고한 강철 베이스에 3개의 ball kinematic mount가 장착되어 공급됩니다. CaliBall™ with 4” Bayonet Mount는 수평 간섭계 셋업에 안성맞춤으로서 x-y-z 마운팅 구성을 추가할 필요가 없습니다. 이외에도 각 제품마다 구형도(roundness)와 마감 처리 정보가 담긴 인증서 및 전체 사용 지침서, 클린룸 호환 저장 케이스가 함께 배송됩니다.