Surface Accuracy

파장(multiple 또는 부분적인 reference 파장)에 대한 주어진 표면의 peak-to-valley 편평도를 나타내는 말입니다. 예를 들어 스펙의 1/4 파장은 표면의 테스트에 사용된 파장의 1/4만큼 표면의 편평도가 벗어남을 의미합니다. 파장이 550nm라면, 편평도는 표면 정확도 1/4 파장을 만들기 위해서 0.14mm이내를 유지합니다. 또한 peak-to-valley 값을 의미하는 주어진 RMS (root mean squared)는 제곱된 값으로 제곱 루트는 값들의 평균을 의미합니다.