표면 정확도 세부사항의 한 종류로 표본 표면의 형태로 부터 표면의 형태가 얼마나 벗어나는 지를 보여줍니다. Regularity는 표본의 표면과 비교하였을 때 테스트 표면에 형성되는 원형 fringe 형태의 구형을 보여줍니다. 표면의 파워가 5 fringe 이상이 되면, 1 fringe보다 작은 irregularity를 발견하기 어렵습니다. 그러므로 표면의 파워와 irregularity의 비율은 약 5:1로 명시됩니다.
관련 용어 Power , Interferometry , Optical Flat , Interference Fringe
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