Thrust Capacity

Ball bearing stage에서 positioning stage 부품에 손상이 가지 않고 이동 방향으로 가해질 수 있는 최대 힘이나 하중을 의미합니다. 마운팅 표면(stage carriage)는 스프링으로 인해 드라이브 메커니즘에 대응하여 압력이 가해지게 됩니다. 결과적으로 스테이지 어셈블리가 유지할 수 있는 최대 thrust는 스프링을 향해 반대로 압력이 가해지는 경우 바뀌게 됩니다. 스프링을 향해 압력을 가하면, 힘은 드라이브 메커니즘(즉, micrometer)에 의해 되돌아오게 됩니다. 반면에 밀어낼 때 힘은 스프링에 의해서 그자리에 유지됩니다. 이것은 Ta와 Tb로 명시되며, Ta는 micrometer에 대한 load capacity를, Tb는 spring load capacity를 의미합니다.