이 타깃은 원형 및 정사각형 피처 크기(feature size)를 위한 고정밀 참조를 제공하며 특히 왜곡과 반점에 취약한 비첩촉 계측 시스템의 정확도를 시험하는 데 이상적입니다. 정밀 패턴은 표준 현미경 슬라이드 형식의 안정적인 Float Glass 기판 위에 저반사 크롬으로 형성되어 있습니다. 반사가 낮은 패턴의 표면은 밝은 배경에서 높은 콘트라스트를 제공하며 확산 또는 동축 조명 용도에서 사용하기 적합합니다. 이러한 패턴은 첫 번째 표면에 적용되며 전체 숫자가 1mm에서 10mm까지 증가하는 0.5mm 크기의 원형 및 정사각형을 특징으로 합니다. Positive Target은 투명한 배경에 불투명한 패턴을 가지고 있는 반면 Negative Target은 불투명 배경에 투명 패턴을 가지고 있습니다.
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