60mm Travel, Low Vacuum (10-3 Torr) Motorized Rotary Stage, Integrated Controller

Name: 60mm Travel, Low Vacuum (10 -3 Torr) Motorized Rotary Stage, Integrated Controller
Brand: Zaber™
SKU: 74-702
Price: KRW 7,715,500 KRW

60mm Travel, Low Vacuum (10^-3 Torr) Motorized Rotary Stage, Integrated Controller

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제품사양

General

Type:

Metric

Encoder:

Manual Control/ LED Indicators:

Manufacturer:

Zaber Technologies Inc.

Model Number:

X-RSW60A-SV1T9

Note:

Requires Accessory Kit, #75-301, for operation.

Type of Motor:

2-Phase Stepper

Physical & Mechanical Properties

Type of Movement:

Rotary

Stage Size (mm):

131.5 x 73.2

Travel (°):

360

Accuracy (°):

0.14

Backlash (°):

<0.04

Height (mm):

31.7

Load Capacity (kg):

Load Capacity (N):

200

Repeatability (°):

<0.02

Resolution (μrad):

<0.349

Speed (°/s):

0.000143 - 100

Weight (kg):

0.72

Table Diameter (mm):

Max. Continuous Torque (N⋅cm):

100

Electrical

Current (mA):

950

Maximum Operating Current (mA):

950

Hardware & Interface Connectivity

Type of Drive:

Precision Worm Gear

Power Supply:

24-48 VDC; Power Supply w/US Plug found in accessories kit, #75-301

Computer Interface:

RS-232, USB

Material Properties

Vacuum Compatibility:

Low vacuum (10^-3 Torr)

Environmental & Durability Factors

Operating Temperature (°C):

0 to +50

Regulatory Compliance

RoHS 2015:

Compliant

Certificate of Conformance:

보기

Reach 247:

Compliant

제품설명

저진공(10^-3 Torr) 및 고진공(10^-6 토르) 옵션 제공
360° 회전 스테이지, 선형/수직 이동 스테이지, 고니오미터 옵션 제공
최소 피드스루 와이어를 통한 제어

해당 제품은 진공 시스템에 통합되도록 설계되었으며 구성 옵션으로 고진공 10^-6 Torr 스테이지와 저진공 10^-3 Torr 스테이지(요청 시 제공되는 옵션)가 있습니다. 제품의 본체 구성품은 진공 챔버에서 오염 물질의 가스 배출을 제한하도록 특수 설계가 적용되었으며, 제품에 포함된 스테퍼 모터는 고진공 환경에서 열 제어를 가능하게 해줍니다. 제품의 스테이지 부위에서는 최소 피드스루 와이어로 PC 인터페이스에 스테이지를 연결할 수 있습니다. 해당 제품은 360° 회전, 선형 이동 및 고니오미터 구성 옵션이 제공되므로 진공 상태에서 완벽한 6자유도 시스템을 구축할 수 있습니다. 또한, 반도체 생산 및 가공 혹은 광학 코팅 공정과 같이 고진공 환경에서 작동하는 어플리케이션에 적합합니다.

참고: 별도로 판매되는 액세서리 키트(#75-301)가 필요합니다. 단, KC 인증 문제로 인해 한국에서는 주문이 불가능합니다.