Zaber™ Vacuum Compatible Motorized Stages

해당 제품은 진공 시스템에 통합되도록 설계되었으며 구성 옵션으로 고진공 10^-6 Torr 스테이지와 저진공 10^-3 Torr 스테이지(요청 시 제공되는 옵션)가 있습니다. 제품의 본체 구성품은 진공 챔버에서 오염 물질의 가스 배출을 제한하도록 특수 설계가 적용되었으며, 제품에 포함된 스테퍼 모터는 고진공 환경에서 열 제어를 가능하게 해줍니다. 제품의 스테이지 부위에서는 최소 피드스루 와이어로 PC 인터페이스에 스테이지를 연결할 수 있습니다. 해당 제품은 360° 회전, 선형 이동 및 고니오미터 구성 옵션이 제공되므로 진공 상태에서 완벽한 6자유도 시스템을 구축할 수 있습니다. 또한, 반도체 생산 및 가공 혹은 광학 코팅 공정과 같이 고진공 환경에서 작동하는 어플리케이션에 적합합니다.

참고: 별도로 판매되는 액세서리 키트(#75-301)가 필요합니다. 단, KC 인증 문제로 인해 한국에서는 주문이 불가능합니다.