용어 정리: R

짝이 맞는 gear 쌍을 의미합니다. Rack은 평평하며 일직선인 bar 형태에 직선으로 움직이기 위해서 pinion gear의 teeth에 맞는 teeth를 가지고 있습니다. 일반적으로 gear teeth는 평행하지만, helical rack의 teeth는 각이 져 있습니다. Pinion은 두 개의 기어 중 더 작은 것입니다.  

입사된 광학 에너지 와트 당 생성되는 전류를 의미합니다. A/W로 표현됩니다. 

표면의 정점으로부터 곡면의 중심까지 일직선으로 잰 거리를 의미합니다. 

참조 파장으로 예를 들어 optical flat의 정확도 측정을 위한 632.8nm파장을 의미합니다. 1/20λ flat 은 632.8/20 또는 31.64nm의 valley devaition 최대 값을 가집니다. 하나의 파는 632.8nm입니다.

파장의 변화 없이 표면에서 복사 방향이 바뀌는 현상을 말합니다. 

동등하게 조사되거나 비춰진 완벽한 반사 diffuser에 의해 같은 방향에서 반사된 방향 반사 광선의 비율입니다.

굴절률이 다른 두개의 물질 사이에서 광선이 꺾이는 것을 의미하는 용어입니다. 굴절률이 높을수록 작은 굴절각을 갖습니다.

고체와 액체의 굴절률을 측정하는데 쓰이는 장비입니다.

밀리미터 단위의 exit pupil의 지름에 대응하여 획득된 쌍안경을 통한 뷰어로 보여지는 빛의 양에 대응하는 merit의 형상입니다.(?) 높은 숫자는 적은 빛의 상황에서 더 밝은 이미지를 이미합니다. 

Diffraction grating의 groove 효율로도 언급되며, 이것은 같은 파장에서 코팅에 대한 효율과 비교하여 원하는 order에서의 회절된 에너지를 나타냅니다. 예를 들어, 500nm에서 특정한 order로 40%의 회절을 내는 grating은 500nm에서 빛의 80%를 반사시키는 코팅이 된 미러와 비교하였을 때 50%의 상대 효율을 갖습니다. 이론적으로 grating에 대한 상대 효율은 매우 높게 나타날 수 있으나, 만약 코팅 반사율이 원하는 파장 영역에서 낮다면 실질적인 조각은 원하는 order에서 매우 낮은 회절을 낼 수 있습니다.

Uniform한 대상의 조명에 대한 반지름 방향으로 정의되는 렌즈의 전체 이미지 circle 쪽으로 센서 조명의 렌즈 uniformity를 측정하는 것입니다. 

렌즈 또는 렌즈들의 조합으로 이미지를 한 점에서 다른 특정 배율로 이동시킬 때 사용되는 렌즈입니다. 

위치 결정 시스템에서 같은 조절이나 같은 input을 제공하여 같은 위치로 돌아갈 수 있는 능력을 의미합니다.

해상도는 대상의 detail을 구별해내는 능력입니다.  이것은 거의 밀리미터(lp/mm) 당 line pairs 수 또는 microns(μm)의 단위로 표현됩니다.

대상을 두 점 또는 평행한 선들로 만들어 내는 광학 시스템의 능력을 측정한 것입니다.

전기적 신호를 만들어 내는 dectector의 효율을 측정을 의미합니다. Watt로 입력된 빛의 생산물과 관련하여 Amps에서의 detector 출력을 예상할 수 있습니다. 이것은 온도에 따라 변합니다.  

들어오는 편광 빛의 phase에서의 각도 이동을 의미합니다.

복굴절이라는 특성을 보이는 소재로 만들어진 제품입니다. 빛에 직교하는 성분이 Retarder(또는 waveplate)로 들어가면 관련된 phase가 output 위로 지연됩니다. 이 phase 이동은 retarding 매체의 두께와 복굴절 각도에 의해 좌우됩니다. 물질의 축은 다른 index 특성을 보이며, 일반적으로 빠른축(낮은 index)과 느린 축(높은 index)으로 언급됩니다. 

대상의 이미지를 측정하도록 설계된 광학 시스템의 이미지 면에 위치한 element로 평면이거나 flat합니다. Element는 일반적으로 글라스로 만들어 졌으며, 위에 넓고 다양한 선, 원, 패턴 등이 에칭되거나 크롬으로 증착되어있습니다. 확대경 또는 비교 측정기가 reticle에 닿는것을 받아들이는 동안 현미경의 접안렌즈도 reticle을 받아들이게 됩니다. 앞의 것은 눈 또는 센서와 가까이에 위치해야하며, 반면에 뒤의 것은 검사하는 대상에 가까이 위치합니다. 

입사된 빔을 다시 광원 쪽으로 반사되도록 설계된 광학 부품입니다. Trihedral prism은  retroreflector처럼 자주 사용되는 프리즘입니다.

90도에서 경로를 꺾는 이미지 반사 프리즘입니다. 이것은 이미지/빔 변위에 자주 사용되는 가장 유명한 프리즘입니다.

원형 패턴으로 출력되는 광섬유 다발로 구성된 조명 부품으로 원의 축을 향해 약간 안쪽으로 비스듬히 위치합니다. 이것은 링을 통해 그림자없이 볼 수 있도록 축에 근접한 방향의 강한 조명을 제공합니다. 

Rugate notch filter와 관련하여 특정한 스펙트럼 영역 내에서 투과율 flatness에 약간의 변화가 있는 것을 의미합니다.

신호가 정의된 최소부터 최대 신호까지 상승하는데 걸리는 시간을 의미합니다. 최소와 최대 지점은 일반적으로 최대 신호 출력의 10%와 90% 지점으로 정의됩니다.

전기적 출력의 원하지 않는 부분으로 방사 신호와 함께 변합니다.

움직임과 관련하여 이것은 세로축에 대한 각도회전을 의미하며, 세로축은 일반적으로 X-Y-Z 배열에서 X축을 의미합니다.

A mechanical method of adjusting the focus of an optical assembly, such as an imaging lens or laser beam expander, in which optical components are rotated during translation. Rotating focusing mechanisms are simple and inexpensive, but they can suffer from image runout or beam wander due to the rotation of the elements. Sliding focusing mechanisms, which translate optical elements without rotation, reduce image runout and beam wander but are typically more expensive due to their more complicated mechanics. Threaded focusing tubes are a common type of rotating focusing mechanism.

단일층의 얆은 필름으로 구성된 notch filter의 종류 중 하나로 물질면과 수직한 방향의 위치에 따라 계속적으로 굴절률이 변합니다. 

정밀한 기계적 ruling engines으로부터 만들어지늰 톱니 형태의 diffraction grating의 한 종류입니다. 증착된 코팅, epoxy layer, master 위에 연마된 물질로 부터 모형이 만들어 집니다. 비록 grating은 일반적으로 큰 조각으로 잘라지고 전체 면적에 대한 groove를 가지고 있지만 입사되는 빛은 사용되는 동안 전체 면적의 90%로 제한됩니다.

Linear stage에서 flat하고 straight한 line을 벗어난 투과의 편차를 의미합니다.