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Nikon Interferometry Objectives

Nikon Interferometry Objectives

Nikon Interferometry Objectives

  • 비접촉 광학 프로파일과 적합
  • Michelson 과 Mirau Objective 가능
  • Infinity Corrected 200mm Tube Lens 디자인

Interferometry Objectives는 비 접촉 광학 프로파일 (Non-Contact Optical Profile) 측정 도구에 사용되어 표면 맵과 표면 측정 값을 얻을 수 있습니다. 빛의 파장보다 더 작은 매우 정밀한 표면 topography를 분석에 사용 가능합니다. 이 렌즈에서 빔은 beamsplitter를 통과하여 빔이 샘플의 표면과 내부에 있는 reference mirror로 전달됩니다. 이 빛들은 표면들로부터 반사되어 다시 합처져서 fringe 패턴을 만듭니다. Michelson Objective는 더 긴 working distance, 더 큰 시야(FOV)와 더 큰 심도 (depth of field)를 제공하며 Mirau Objectives는 높은 배율과 높은 NA를 필요로 하는 용도에 사용됩니다. #58-520 Nikon Tube 렌즈와 같이 사용하여 C-mount에 호환 사용 될 수 있습니다.

 
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