Arizona Optical Metrology (AOM) Cylinder Computer Generated Holograms (CGH)

해당 제품은 간섭계의 기능을 확장시켜 표면 형상 오차 계측을 개방 조리개 상태에서 빠르게, 또 고해상도로 수행하기 위한 용도의 원통형 광학 부품을 검사합니다. 모든 실린더 CGH(Computer Generated Hologram) f/# 제품군을 보유하고 있어 다양한 볼록 및 오목 실린더 광학 표면을 테스트할 수 있고, 계측 시 필요한 테스트 플레이트나 간섭계 기준면의 수를 줄일 수 있습니다. AOM(Arizona Optical Metrology) 2인치 실린더 CGH는 CGH-간섭계 정밀 정렬에 필요한 6자유도(6 degree of freedom) 스테이지에 키네마틱 장착 방식을 사용하는 기계 프레임에 장착됩니다. 해당 제품은 산업 표준인 4인치 조리개, 기준 투과 범위가 일정한 632.8nm HeNe 레이저 파장 간섭계와 사용하도록 최적화되어 있습니다. 실린더 널(null) CGH마다 테스트가 진행된 성능 사양을 보여주는 품질 인증서가 제공됩니다.

참고: CGH의 경우 6자유도 Fine Positioning Stage(#25-684) 또는 6자유도 Fine Positioning Stage with Z-Axis(#25-685) 중 하나가 필요합니다. CGH 셀과 스테이지는 자성으로 연결되어 빠르고 반복적인 포지셔닝이 가능합니다.

해당 제품 사용 시 원통형 광학 부품에 대한 간섭계 측정이 가능합니다. 또한, 개방 조리개 상태에서 볼록 및 오목 실린더 광학 부품의 표면 형상 오차를 계측할 수 있습니다. 반경 측정을 지원하는 간섭계 광학 테이블로 원통 곡률 반경을 측정할 수도 있습니다.

AOM 표준 실린더 CGH의 경우 용융 실리카 기판에 실린더 널(null) 패턴, 레트로 정렬 패턴, AR(무반사) 코팅 처리된 후면, 1/4인치 스테인리스 스틸 마운팅 볼이 있는 기계식 셀이 포함되어 있어 AOM FP3 정렬 스테이지에 연결할 수 있습니다.

실린더 CGH는 시준된 간섭계 파면을 수렴하는 원통형 파면으로 변환시키는 DOE(Diffractive Optical Element)입니다. 동일한 CGH로 공초점 널(null) 테스트를 진행하여 볼록 및 오목 실린더 광학 부품을 측정할 수 있습니다. 수렴 파면에는 볼록 실린더 광학 부품을, 발산 파면에는 오목 실린더 광학 부품을 포지셔닝해야 합니다.