UV Laser Optics

개요

자외선 (UV) 레이저 옵틱은 반도체 가공, 형광 현미경 검사, 레이저 미세 가공 등 다양한 응용 분야에서 필수적인 광학 부품입니다. 주변에서 발생하는 열을 최소화하면서 더욱더 작고 정교한 기능들을 만들어내기 위해 레이저 옵틱 관련 다수의 어플리케이션이 추구하는 UV 파장의 길이가 점점 짧아져 가고 있습니다. UV 옵틱 어플리케이션의 급증은 이러한 파장에서 작동하도록 설계된 광학 부품의 수요로 이어지게 되었습니다. 에드몬드 옵틱스는 미러, 렌즈, 필터 및 빔 익스팬더 등 UV 옵틱을 취급하는 세계 최고의 공급 업체입니다.

UV 레이저 옵틱을 사용해야 하는 이유는?

 

더욱 정교한 기능들을 제작 가능

재료를 용해 또는 기화시키는 대신에 소재 가공이나 의료 어플리케이션에서는 원자 구조의 결합을 파열시킴

 

주변 지역에 대한 피해를 최소화함

빔 스폿 근처에서 주변 가열이 발생하지 않아 원료나 조직의 손상을 최소화함

 

공간 해상도가 더욱 향상됨

레이저의 스폿 크기는 파장에 정비례하기 때문에, UV 레이저는 VIS나 IR 레이저보다 더 높은 공간 해상도(spatial resolution)를 갖게 됨.

 

더 높은 흡수율

유기 물질을 포함한 대다수의 물질은 기타 파장 대역보다 UV 영역에서 더 높은 흡수율을 보임

 

더 많은 에너지

UV 빛은 빛의 에너지가 파장에 반비례하기 때문에 VIS와 IR 빛보다 더 많은 에너지 보유

UV 옵틱 사용의 어려움

 

더욱 타이트한 표면 허용오차 요구

파장별로 지정된 상대적 성능은 UV 단파장에서 더욱 악화됩니다. 예를 들어, 308nm에서 사용되는 렌즈는 상대적으로 웨이브프런트 왜곡을 동일하게 유지하기 위해 632.8nm에서 사용되는 렌즈보다 두 배가량 높은 irregularity tolerance를 필요로 합니다.

 

더욱 복잡해진 코팅 처리

코팅 증착 과정에 있어 제작상의 미세한 변동만으로도 VIS나 IR 스펙트럼에 비해 UV 스펙트럼에서 훨씬 더 큰 오류가 발생할 수 있기 때문에 더욱 정밀한 감시가 필요함

 

더 많은 산란

스크래치나 홈과 같은 표면 결함은 UV 빛에서 더욱 증폭되며, 작은 결점도 흡수나 산란이 발생하는 포인트가 될 수 있어 시스템의 처리량이 줄어들 수 있습니다. 에너지의 손실을 최소화하기 위해서는 엄격한 표면 품질 스펙이 필요합니다.

 

다광자 흡수율의 증가

UV의 복사 에너지가 증가할수록 다광자 흡수가 더 많이 일어나, 프로세스가 갑자기 시작되면서 광학 부품에 손상을 가할 수 있습니다.

어플리케이션 예제

UV 레이저의 광학 부품은 주변부의 손상을 최소화하면서 작고 정밀한 기능을 생성할 수 있기 때문에 여러 응용 분야에 이상적으로 사용할 수 있습니다.

Laser Materials Processing

레이저 소재 가공

세라믹, 유리, 플라스틱 및 금속 재료의 스크라이빙, 절단, 천공

Medical Lasers

의료용 레이저

정교한 절삭이 요구되는 신경외과, 제거 반응 및 기타 의료 과정

Semiconductor

반도체

실리콘 스크라이빙, 와이퍼 검수와 마킹, 그리고 미세 기계 가공

Fluorescence Microscopy

형광 현미경 검사

형광 물질의 자극을 통해 유기물과 비유기물이 갖는 양쪽의 속성 연구

EO와 파트너십을 맺어야 하는 이유는?

 

품질

  • ISO 9001 인증 및 MIL-SPEC 품질 시스템 보유
  • Interferometer, cavity ring-down (CRD) spectrometer, Shack-Hartmann wavefront sensor, profilometer, coordinate measurement machines (CMMs)와 같은 광범위한 계측 기술
  • Laser Damage Threshold 스펙 보장

 

역량 및 서비스

  • 미국, 유럽 및 아시아에 있는 광학 제조 단지
  • 제조 가능성을 중요시하는 맞춤형 디자인 서비스
  • 소요 시간이 짧은 광학 개조 서비스

 

자원 및 지원

Laser Optics Clean Room

탁월한 프로세스 제어로 일관된 품질 제공

정밀 UV 테스트에 필요한 계측 비용을 감안할 때, 주문한 광학 제품이 광고에 나온 스펙을 충족하는지 확인하는 데는 종종 어려움이 따릅니다. 에드몬드 옵틱스에서는 Laser Induced Damage Threshold (LIDT), 반사율, 표면 정밀도 및 병렬성(parallelism)에 관하여 EO의 TECHSPEC® 355nm laser line mirror 제품과 경쟁사 네 곳에서 제작한 41개의 355nm laser line mirror 기성 샘플의 테스트를 진행하였습니다. 이중맹검연구(double-blind study) 방식의 이 테스트는 실험자가 어느 제작사의 미러인지를 알지 모르게 함으로써 편견의 개입을 축소하였습니다. 아래의 도표는 테스트를 거친 미러들이 광고 스펙과 일치 혹은 불일치하는지를 보여줍니다. 연구 결과에 따르면, EO의 TECHSPEC® 355nm laser line mirror만이 모든 광고 스펙을 충족한 유일한 미러 제품인 것으로 나타났습니다.

Oscilloscope
그림 1: EO와 경쟁 업체 1의 미러만이 테스트에서 LIDT의 광고 스펙 100%를 충족함.
Lock-In Amplifier
그림 2: EO를 비롯해 경쟁 업체 1과 3의 미러는 테스트에서 표면 품질의 광고 스펙 100%를 충족함.
Phasemeter
그림 3: EO의 미러만이 테스트에서 반사율 스펙 100%를 충족함.
Data Logger
그림 4: EO를 비롯해 경쟁 업체 1과 2의 미러는 테스트에서 광고 병렬성 스펙 100%를 충족함.

UV 광학 제품 선택 가이드

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기술 문서

에드몬드 옵틱스가 산업 간행물에 저술한 기술 관련 기사나 EO 엔지니어링 팀과 핵심 관리 부서가 게재한 기고문 관련 링크 모음.

"No One-Size-Fits-All Approach to Selecting Optical Coatings" by Stefaan Vandendriessche - Photonics Media (영문)
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